1、電化學法：利用水中臭氧在電活化表面產(chǎn)生的點化學還原作用，點化回路中電流變化曲線與溶液中臭氧濃度成正比，這種儀器具有數(shù)據(jù)輸出功能，可在線測量而且能實現(xiàn)對臭氧發(fā)生器的閉環(huán)反饋控制，目前在大型水處理工程中應用。

2、碘量法：過去經(jīng)典的丈量方法，用臭氧化氣使碘化鉀溶液中的碘油離出來而顯色，然后用硫代硫酸鈉滴定還原至無色，以消耗的硫代硫酸鈉數(shù)目計算臭氧濃度。此法顯色直觀，設(shè)備便宜，但要用各種藥品、洗瓶、量筒、天平、滴定管等化學試驗設(shè)備，使用不利便，且易受其他氧化劑（如NO/CL等）干擾，此法目前仍為我國的尺度丈量方法。

3、比色法：與碘量法同為化學法，是利用臭氧對化學試劑反應發(fā)生的顯色或脫色現(xiàn)象確定臭氧濃度，它可用碘化鉀、鄰聯(lián)甲苯胺或靛蘭染料等多種化學物質(zhì)，可直接肉眼觀察與標準色管或比色盤比較，也可用分光光度計檢測，但測試藥品是一次性消耗品。

4、紫外吸收法：利用臭氧對波長=254nm紫外光的量大吸收值，使紫外光在臭氧氣氛中衰減，再經(jīng)光電元件、電子電路（比較電路，數(shù)據(jù)處理，數(shù)模轉(zhuǎn)換）得到數(shù)據(jù)輸出，此方法精確，可連續(xù)在線量測，但該儀器價格較貴，一般作為檢測單位與生產(chǎn)、科研單位使用。